产品应用：
DC（直流）、RF（射频）、mmW（毫米波）测试
纳米级电子器件测试，微机电测试
高功率测试
产品特点：
1. 超高性价比的全功能型探针台。
2. 操作简易、操作效率更高——同轴操作机构（载物台和显微镜X-Y移动基座）。
3. 完整的系统配件，客户可根据需求将S系列配置为I-V/C-V测试系统、RF/mmW测试系统、高功率测试系统、光电器件测试系统等等。
技术参数：
载物台(常规晶圆载物台）
尺寸 ：6"(152.4mm)，可选更大尺寸，如8"或12"
材质 ：不锈钢
平整度：≤±2.5μm
真空区域 ：0，2"，4"，6"环形吸附（可选真空微孔吸附）
真空控制 ：手动控制，独立真空区域
真空驱动方式：真空泵
载物台电性能：载物台信号导通，可选择接地或接信号
根据载物台尺寸有所不同，如载物台尺寸为12"，则真空吸附区域为0，2"，4"，6"，8"，12"。
除环形吸附外，还可选微孔式吸附式载物台。
载物台移动基座
X-Y轴行程范围：6"*6"(152.4mm*152.4mm)，可选更大行程。同轴结构
精度 ：≤5μm
R轴粗调角度范围 ：360°
R轴细调角度范围 ：±9°
微调精度 ：0.0001°/deg
Z轴细调行程范围：13mm
细调精度 ：1μm
Z轴快升行程：0~6mm,
可调
Z轴往复精度：<1μm
载物台快速拖出行程 ：100mm
*根据载物台尺寸不同，行程有所不同，如载物台为12"，则X-Y移动行程为12"*12"。
** 载物台X-Y为同轴结构，两操作旋钮为同轴一体结构，用户单手可方便操作。 n lang=EN-US>** 除环形吸附外，还可选微孔式吸附式载物台。
探针座放置平台
材质：钢，表面沉镍处理
平台板尺寸：可放置8个CM50或4个RF50探针座
平台板至载物台高度 ：1.496”(38mm)
探针座兼容性：可兼容磁力或真空吸附底座的探针座
Z轴细调行程范围：45mm
Z轴快升行程：350μm
Z轴往复精度：<1μm
此处为6"探针台可放置的探针座数量 ，更大尺寸探针台详询客服人员。
显微镜移动基座
X-Y轴行程范围：2"*2"(50mm* 50mm)，同轴结构
X-Y轴精度 ：≤5μm
调焦行程 ：2"(50mm)
精度：1μm
Z轴粗调行程：50mm
气动升降行程：40mm
光学系统
类型：金相显微镜、体视或单筒显微镜可选
光学放大倍数* ：15X-2000X
根据所选物镜或显微镜放大倍数不同会有不同的光学放大倍数，详细请咨询客服人员。
其它信息
台体尺寸 ：724mm*606mm*610mm（W*D*H）
重量 ：120kg
加热载物台(可选项）
尺寸：6"(152.4mm)，可选更大尺寸
温度范围 ：室温~300℃
温控精度 ：0.5℃（典型值）
温度均匀性：0.5℃@6"载物台
加热时间 ：<6min（室温~300℃）
标准配置的加热台为自然冷却，可选风冷或水冷套件。
设备环境要求
电源：220V±10%
真空 ：-8bar
压缩空气 ：0.6MPa