LAB系列探针台-模块化结构设备、全功能型探针台
产品应用：
DC、RF、mmW测试
纳米级电子器件测试，微机电测试，高功率测试
产品特点：
LAB系列为真正意义上的模块化结构设计探针台，让用户可完全围绕实际应用，选择最适合的功能配置，确保成本解决方案的同时满足用户将来的升级需求。
LAB系列可定制的模块为：载物台及其移动基座模块、探针座放置平台移动模块和显微镜及其移动基座模块。用户可自行配置功能模块的同时，还可根据自身需求增加探针卡夹具、激光器、微腔体屏蔽系统、半自动控制系统、全自动控制系统、高温测试系等，满足更多的应用需求。
LAB系列还为用户提供了一个高刚性和稳定性的测试系统。载物台移动基座和探针台底座一体化的结构设计，显著地提高了载物台的结构刚性和稳定性。显微镜支撑为龙门结构，可应用于高放大倍率的光学系统，保证光学系统的稳定性。探针座放置平台采用高刚性结构设计，保证平台板整体的垂直应力形变在5μm/10N以内，拥有极高的稳定性以满足高精度探针座的定位要求。
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技术指标
载物台(常规晶圆载物台）
尺寸：6"(152.4mm)，可选更大尺寸，如8"或12"
材质 ：不锈钢
平整度 ：≤±2.5μ 真空区域* ：0，2"，4"，6"环形吸附**
真空控制：手动控制，独立真空区域 真空驱动方式 ：真空泵
载物台电性能：载物台信号导通，可选择接地或接信号
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*根据载物台尺寸有所不同，如载物台尺寸为12"，则真空吸附区域为0，2"，4"，6"，8"，12"。
载物台移动基座 X-Y轴行程范围*：6"*6"(152.4mm*152.4mm)，可选更大行程
精度：1μm R轴粗调角度范围 ：360°
R轴细调角度范围 ：±9°
微调精度 ：0.0001°/deg
Z轴细调行程范围：13mm
细调精度 ：1μm
Z轴快升行程：0~6mm,
可调
Z轴往复精度：<1μm
载物台快速拖出行程 ：100mm *根据载物台尺寸不同，行程有所不同，如载物台为12"，则X-Y移动行程为12"*12"。
探针座放置平台 材质：钢，表面沉镍处理 平台板尺寸：可放置8个CM50或4个RF50探针座
平台板至载物台高度 ：1.496”(38mm) 探针座兼容性 ：可兼容磁力或真空吸附底座的探针座
Z轴细调行程范围：45mm
Z轴快升行程：350μm
Z轴往复精度：<1μm *此处为6"探针台可放置的探针座数量 ，更大尺寸探针台详询客服人员。
显微镜移动基座 X-Y轴行程范围 ：2"*2"(50mm* 50mm)
X-Y轴精度：1μm
调焦行程 ：2"(50mm)
精度 ：1μm Z轴粗调行程：100mm 气动升降行程：40mm 光学系统 类型：金相显微镜，可选体视或单筒显微镜 光学放大倍数*：20X-2000X
根据所选物镜或显微镜放大倍数不同会有不同的光学放大倍数，详细请咨询客服人员。 其他信息
台体尺寸 ：724mm*606mm*610mm（W*D*H）
重量：120kg
设备环境要求
电源：220V±10%
真空
：-8bar
压缩空气 ：0.6MPa |