SP系列探针台-亚微米级FA探针台
产品应用：
DC、RF、mmW测试
纳米级电子器件测试，微机电测试
高功率测试
产品特点：
SP 系列是专为亚微米级分析测试而研发的探针台，包含6/8/12英寸三个不同型号，可应用于I-V/C-V测试、RF测试、mmW（毫米波/微波）测试、T-Hz测试、失效分析、晶圆或器件的特性测量、MEMS（微机电）等等的分析测试中。
SP 系列低重心的结构设计，确保了台体在高精度测试下的稳定性。载物台移动基座采用高精度丝杆传动，配合高精度交叉滚柱导轨和直线导轨进行导向，实现了载物台亚微米级的空间定位精度；同时，一体化的探针座放置平台，配合高刚性的支撑机构，整体的垂直应力形变在5μm/10N以内，保证了测试探针的稳定性。显微镜的龙门支架及同轴移动基座，让显微镜定位操作更加快速方便，同时还保持了超高的稳定性，为亚微米级的空间定位精度提供了稳定的光学支持。
SP系列结构设计紧凑，如显微镜的同轴调节机构，载物台的真空驱动开关及快速拖出功能等，有效地提高了用户的操作效率。载物台Z轴细调行程为13mm，配合平台板Z轴行程45mm，使SP系列可适用于更多不同的测试配置和样片，满足更多的分析应用需求。
技术指标
载物台(常规晶圆载物台）
尺寸：6"(152.4mm)，可选更大尺寸，如8"或12"
材质：不锈钢
平整度：≤±2.5μm
真空区域 ：0，2"，4"，6"环形吸附**
真空控制：手动控制，独立真空区域
真空驱动方式：真空泵
载物台电性能：载物台信号导通，可选择接地或接信号
载物台移动基座
X-Y轴行程范围*：6"*6"(152.4mm*152.4mm)，可选更大行程
精度：1μm
R轴粗调角度范围 ：360°
R轴细调角度范围 ：±9°
微调精度：0.0001°/deg
Z轴细调行程范围 ：13mm
细调精度 ：1μm
Z轴快升行程：0~6mm,
可调
Z轴往复精度 ：<1μm
根据载物台尺寸不同，行程有所不同，如载物台为12"，则X-Y移动行程为12"*12"。
探针座放置平台
材质 ：钢，表面沉镍处理
平台板尺寸* ：可放置8个CM50或4个RF50探针座
平台板至载物台高度 ：1.496”(38mm) （该参数待定）
探针座兼容性 ：可兼容磁力或真空吸附底座的探针座
Z轴细调行程范围 ：45mm
Z轴快升行程 ：350μm （该参数待定）
Z轴往复精度 ：<1μm
*此处为6"探针台可放置的探针座数量 ，更大尺寸探针台详询客服人员。
显微镜移动基座
X-Y轴行程范围 ：2"*2"(50mm* 50mm)
X-Y轴精度 ：1μm
调焦行程 ：2"(50mm)
精度 ：1μm
Z轴粗调行程：100mm
气动升降行程：40mm
光学系统
类型 ：金相显微镜，可选单筒显微镜
光学放大倍数*：20X-2000X
* 根据所选物镜或显微镜放大倍数不同会有不同的光学放大倍数，详细请咨询客服人员。
加热载物台(可选项）
尺寸 ：6"(152.4mm)，可选更大尺寸，如8"或12"
温度范围 ：室温~300℃
温控精度* ：0.5℃（典型值）
温度均匀性：0.5℃@6"载物台
加热时间：<6min（室温~300℃）
标准配置的加热台为自然冷却，可选风冷或水冷套件。
设备环境要求
电源 ：220V±10%
真空：-8bar
压缩空气：0.6MPa