产品应用：
DC、RF、mmW测试；
纳米级电子器件测试、微机电测试；
超导测试。
产品特点：
80k-573k温度范围，可扩展至4k-1073k。
载物台内部液氮浸润式结构，快速降温，液氮使用量更少，节约耗材成本。
高真空不锈钢真空腔体（配套分子泵组可达10-6mbar）。
低温测试时真空腔体体内无凝露、结霜。
红外截止玻璃观察窗，提升测试腔内部温度稳定性。
4探针点测系统，最多可定制8探针点测系统。
配套同轴或三轴电缆可应用于高精度的DC测试。
配套微波测试套件可应用于DC-67GHz的RF测试或频率更高的mmW测试。
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技术指标 载物台 尺寸：4"（2"、6"、8"方案可选） 材质：合金铜 表面处理：可选纯金镀层或沉镍镀层 平整度：<50μm@300℃
载物台移动基座（可选项） X-Y轴行程范围 ：4"*4"，根据载物台尺寸可选更大行程，电动控制系统可选 精度 ：1μm
R轴微调角度范围：±9°
R轴微调精度：0.0001°/deg
Z轴细调行程范围：13mm 细调精度：1μm Z轴快升行程：350μm Z轴往复精度：<1μm
温度控制系统
温度范围：80k-573k
温度精度 ：0.1℃
温控精度：温控精度0.1℃，连续变温无节点。
温度均匀性 ：0.1℃@4(100mm)载物台。
加热方式：电阻加热
制冷方式 ：液氮制冷
杜瓦罐容量：80L自增压液氮杜瓦罐 致冷剂消耗量：15L液态氮（室温降至80k）
温度扩展范围：4k-1073k
真空系统
真空度
：10-3mbar*（可配套分子泵组，达到更高的真空度10-6mbar）
真空泵
：旋片式双级油封真空泵，可升级涡轮分子泵组
抽速：16m3/h
抽真空时间：5min（10-3mbar） 真空焊接波纹管：三维弯曲大于25mm（定制参数）
法兰：KF（更高真空度要求则使用CF）
真空腔体
腔体材质：不锈钢
观察舷窗 ：红外截止玻璃** 真空泵接口法兰 ：KF25
液氮接口法兰 ：KF25
点测系统 探针座数量 ：4个（最多8个，可根据需求定制）
探针夹具：4个（最多8个，可根据需求定制）
定位精度：5μm（可根据需求定制） X-Y-Z轴移动行程：25mm*25mm*25mm（可根据需求定制）
光学系统（体视显微镜）
光学放大倍数：15X-100X
变焦倍率：0.75X-5X（变倍比6X） CCD ：1/3”数字CCD，1920x1024像素，30ftps，USB2.0接口
显微镜旋臂 ：两段式显微镜支架，可快速移动定位显微镜
光学系统（单筒显微镜）
光学放大倍数：400X(21英寸显示器)
变焦倍率 ：0.58X-7X（变倍比12X，超大变倍范围） CCD：1/3”数字CCD，1920x1024像素，30ftps，USB2.0接口
显微镜旋臂 ：两段式显微镜支架，可快速移动定位显微镜
显微镜移动基座（可选项） X-Y轴行程范围 ：2"*2"，根据载物台尺寸可选更大行程，电动控制系统可选
精度 ：1μm
防震台
隔震方式 ：气囊式防震台
固有频率：1.2Hz（水平），1.5Hz（水平） 样品振动：<300nm（真空泵工作时） *低温测试时真空腔体内无凝露或结霜。 |
**红外截止玻璃：过滤红外光，防止红外光进入真空腔体内使腔体内部升温，提升载物台温度稳定性。
***77k为液氮温度，实际操作中，由于载物台热传导损耗的存在，无法达到77k。根据液氮循环的时间而定，实际最低温度不会低于85k。